白光干涉儀定義：入射光為寬帶光的干涉儀。

白光干涉儀用在低相干性的干涉中，采用白光光源，具有很寬的帶寬。光源不一定需要在可見光譜區域。

光源的時間相干性很低，空間相干性很高。將燈泡發出的光射入單模光纖中就可以同時得到很高的空間相干性和很寬的帶寬，但是這樣得到的功率較低。

采用超輻射光源，例如超發光二極管就可以使光的亮度提高好幾個數量級。有時還可以采用可調諧激光器。

白光干涉儀的探測器可以是光電探測器，在時間域上采集信號，也可以采用光譜儀。

激光干涉儀定義：以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。

激光干涉儀具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

另外白光干涉儀和激光干涉儀的應用領域區別：

白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。激光干涉儀是用來檢測設備的運動精度的

bruker白光干涉儀推薦型號:ContourX-200、ContourX-500、GT-X，bruker白光干涉儀產品特點：

·易于使用的界面

·快速準確地獲得結果

·自動化功能用于日常測量和分析

·*泛的濾鏡和分析工具選項，用于粗糙度和關鍵尺寸測量分析