布魯克bruker輪廓儀

Dektak XTL™ 布魯克bruker臺階儀輪廓儀可容納高達 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復(fù)性。Dektak XTL 具有空氣振動隔離設(shè)計和全封閉工作站設(shè)計，具有易用的聯(lián)鎖門，是當今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強空間感知能力，其高自動化水平可大限度地提高測試通量。

增強的軟件功能使 Dektak XTL 成為功能強大、容易使用的探針式輪廓儀。該系統(tǒng)利用 Vision64 軟件，通過數(shù)百種內(nèi)置分析工具實現(xiàn)眾多的測量位點、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測量形狀，如曲率半徑。模式識別可大限度地減少操作員誤差并提高測量位置精度。集成化的軟件包將數(shù)據(jù)收集和分析與直觀的工作流程相結(jié)合。

Dektak XTL 以 50 布魯克bruker臺階儀輪廓儀多年的探針式輪廓儀的專業(yè)知識和生產(chǎn)設(shè)施的應(yīng)用程序定制為基礎(chǔ)，以滿足當今和未來嚴格的行業(yè)路線圖。300 毫米高精度編碼 XY樣品臺為制造商提供了滿足嚴格計量研發(fā)要求的可靠工具。

Dektak 的雙攝像頭控制與高清放大雙視場相機提供增強的空間感知。實時視頻中的點擊定位使操作員能夠快速將樣品移動到正確的位置，以便快速輕松地進行測量設(shè)置和自動化編程。該系統(tǒng)的大型聯(lián)鎖門為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪問。

其他硬件功能包括：

• 單拱形架構(gòu)和集成振動隔離系統(tǒng)

• 快速更換自對齊探針

• 高精度編碼 XY 樣品臺，實現(xiàn)更快的自動數(shù)據(jù)收集

• N-Lite 低力，采用軟觸控技術(shù)，具有 1mm 測量范圍，可同時用于測量精密和高垂直范圍樣品