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Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE

簡要描述：Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE特點：
&#183;適用6寸以下樣品的處理

&#183;用于塑膠材料表面的處理

&#183;配置自動/手動模式，實現控制高機能

&#183;桌上型，省空間

&#183;適合于研究院、高校、研發中心使用

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詳細介紹

品牌	其他品牌	價格區間	面議
產地類別	國產	應用領域	醫療衛生,環保,生物產業,農林牧漁

Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE

特點：

·適用6寸以下樣品的處理

·用于塑膠材料表面的處理

·配置自動/手動模式，實現控制高機能

·桌上型，省空間

·適合于研究院、高校、研發中心使用

·表面清洗活化

·表面蝕刻

型號	FEMTO RIE(防腐)*1	FEMTO RIE(防腐)*1
控制方式	按鍵操作控制	Windows CE 7”觸摸屏操作控制
操作方式	手動	手動/自動
程序存儲	—	50組
工藝過程監控	—	二維折線圖與數字實時顯示
程序偏離值	—	抽真空時間、進氣量偏差值，實際功率輸出
報錯功能	—	顯示詳細的報錯信息
數據導入導出	—	USB
選程控制	—	選配
工藝氣路	單路，雙路，三路
工藝氣體	O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1
流量計	針閥流量計（可選防腐針閥流量計）*1	MFC流量計（可選防腐MFC流量計）*1
沖洗氣路	一路
泄氣氣路	一路
真空計	指針式/0-10mbar	數字式/0-9.99mbar
計時器	0~999.9H
真空腔體	不銹鋼圓形腔體蓋子門帶觀察窗尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L
電極	不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm
發生器	40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W
外形尺寸（WxDxH）	560 x 600 x 860mm
電源	AC230 V / 16 A
真空泵	排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa
選配功能	托盤冷卻,腔體溫度監控,冷水綱

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