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Diener 等離子蝕刻機

簡要描述:Diener 等離子蝕刻機 ZEPTO RIE特點:
·適用6寸以下樣品的處理

·用于塑膠材料表面的處理

·配置自動/手動模式,實現控制高機能

·桌上型,省空間

·適合于研究院、高校、研發中心使用

  • 所在城市:上海市
  • 廠商性質:代理商
  • 更新日期:2025-09-07
  • 訪  問  量:2672
詳細介紹
品牌其他品牌價格區間面議
產地類別國產應用領域醫療衛生,環保,生物產業,農林牧漁

特點:

·適用6寸以下樣品的處理

·用于塑膠材料表面的處理

·配置自動/手動模式,實現控制高機能

·桌上型,省空間

·適合于研究院、高校、研發中心使用

Diener 等離子蝕刻機用途:

·表面清洗活化

·表面蝕刻

Diener 等離子蝕刻機
ZEPTO RIE規格

型號

ZEPTO RIE

Zepto RIE PCCE

控制方式

按鍵操作控制

Windows CE  7”觸摸屏操作控制

操作方式

手動

手動/自動

程序存儲

5組

工藝過程監控

二維折線圖與數字實時顯示

報錯功能

顯示詳細的報錯信息

工藝氣路

雙路

單路,雙路

工藝氣體

O2,Ar,N2,CO2,H2

流量計

針閥流量計

MFC流量計

泄氣氣路

一路

真空計

指針式/0-10mbar

數字式/0-9.99mbar

計時器

0-100s

0-1000s(出廠默認)

0-1000s

0~999.9H

真空腔體

不銹鋼圓形腔體

蓋子門帶觀察窗

尺寸Φ190mm x H60mm

容積1.7L

電極

不銹鋼氣浴RIE電極, Φ160mm

發生器

40kHz 0~100W,13.56MHz  0 ~50 W,13.56MHz  0 ~300 W

外形尺寸(WxDxH)

425 x 450 x 310mm

電源

AC 230 V / 16 A

真空泵

排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa

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